沈陽多功能蒸餾器CYZL-6C氨氮蒸餾裝置在半導(dǎo)體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過程占整個工藝過程的約20%-30%。目前，洗滌溶液的更換頻率通常基于使用時間來確定的。然而，近年來，降低制造成本和減少環(huán)境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此，有必要實時監(jiān)測污染程度。為了滿足這些需求，島津一直在研究LIBS技術(shù)，因為LIBS技術(shù)的研發(fā)可以利用島津自身廣泛的激光光學(xué)和光譜技術(shù)優(yōu)勢蒸餾法測氨氮?的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時測量多個元素的技術(shù)。當(dāng)樣品被激光照射時，它通過樣品表面的熱蒸發(fā)產(chǎn)生等離子體。該等離子體發(fā)出特征光是樣品所*的。因此，可以通過檢測所得光譜來測量元素。通過激光照射在特殊板上蒸發(fā)至干燥的樣品產(chǎn)生等離子體，然后檢測從等離子體發(fā)射的光以識別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測限為ppm級別。該技術(shù)基于LIBS測量原理，提供世界上高的靈敏度水平(根據(jù)島津截至2018年7月的調(diào)查)。目前的原型機(jī)尺寸為1 m×1 m蒸餾法測氨氮的?具體操作方法，可與半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)連接。從取樣到測量洗滌溶液的整個過程是*自動化的，并且可以在大約一分鐘內(nèi)完成12種痕量金屬組分的同時測量，例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率，使得該技術(shù)的實際應(yīng)用將提供諸如提高產(chǎn)率和降低制造成本等益處。

主要特征：

1、系統(tǒng)簡潔、安裝維護(hù)方便、使用可靠，配件全套，無需購買后另配配件；

2.、具有熱效率高、壽命長、起溫和降溫速度快、加熱時間和加熱功率可調(diào)等優(yōu)點；

3、操作簡單、美觀實用、節(jié)能降耗環(huán)保；

4、一次可處理6組樣品，并可單孔單控溫，進(jìn)口溫度傳感器

5、選配外接循環(huán)水冷卻裝置。

沈陽多功能蒸餾器CYZL-6C氨氮蒸餾裝置一體化智能蒸餾儀揮發(fā)酚操作步驟  

水中揮發(fā)酚的測定采用4-氨基安替比林分光光度法，實驗原理、適用范圍、所需試劑、干擾消除及結(jié)果計算等參照國標(biāo)HJ503-2009。

 一、操作步驟  1、插上電源，檢查蒸餾儀器，確保各加熱孔能正常加熱，接通循環(huán)水開關(guān)，檢查各接口是否漏水，以保證儀器正常運行。  

2、取250ml樣品于500ml全玻璃蒸餾瓶中，并加入50ml蒸餾水，加數(shù)滴甲基橙指示劑，若試樣未呈現(xiàn)橙紅色，需補(bǔ)加磷酸溶液。  

3、開始加熱蒸餾，待餾出液接近250ml時，停止時加熱，并用蒸餾水定容至250ml。  

4、打開本公司萃取儀，檢查儀器能否正常工作，檢查完畢后，將250ml餾出液全部轉(zhuǎn)移至本公司萃取儀自帶500ml分液漏斗中。  

5、在分液漏斗中加入2.0ml緩沖溶液，設(shè)置萃取強(qiáng)度為40Hz，時間90s，停留時間為0，萃取一次，以混勻溶液。  

6、加入1.5ml4-氨基安替比林溶液，萃取強(qiáng)度、時間、次數(shù)不變，萃取一次，混勻溶液。 

7、再加入1.5ml鐵，萃取強(qiáng)度、時間、次數(shù)不變，萃取一次，使得試劑與水樣混勻。靜置10min。 

8、在上述分液漏斗中加入10ml，設(shè)置萃取強(qiáng)度為35Hz，時間60s，停留時間為30s，萃取次數(shù)為3次，設(shè)置完畢后，按啟動鍵開始萃取。萃取完畢后，靜置分層。 

9、用干脫脂棉或濾紙拭干分液漏斗頸管內(nèi)壁，于頸管內(nèi)塞一小團(tuán)干脫脂棉或濾紙，層通過干脫脂棉團(tuán)或濾紙，棄去初濾出的數(shù)滴萃取液后，將余下直接放入光程為20mm的比色皿中。 

10、于460nm波長，以為參比，測定吸光度。  11、空白實驗：蒸餾水代替試樣，按4-10步驟測定其吸光度?？瞻着c試樣同時測定。 

二、注意事項  

1、緩沖溶液為氨水配置，所以在混勻時萃取強(qiáng)度不宜過高，在適宜強(qiáng)度下要保證充分混合均勻，否則會造成空白偏大。 

2、放液時要成滴，不能成線。

全自動智能蒸餾儀使用操作步驟
　　1、將配套玻璃儀器安裝固定在給定的玻璃裝置支架上。
　　2、連接好各路軟管。再次熟練認(rèn)識一下氮吹控制管路（選用，二氧化硫才選配）；循環(huán)水的進(jìn)（一路）、出水（一路）管路；防倒吸（四路或六路防真空閥門）管路；自動清洗管路。
　　3、熟悉面板上的主電源開關(guān)、觸摸屏（開機(jī)可視操作）、加熱控制（四路或六路單溫單控；右旋轉(zhuǎn)溫度升高，反之則低）、攪拌控制（四路或六路單控，右旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速增大，反之則低）的旋鈕。
　　4、熟悉右側(cè)的主電源插座（溫度控制、攪拌控制電源）、輔電源插座（制冷、循環(huán)水）；并對應(yīng)連接上電源（220V,50HZ)
　　5、熟悉右側(cè)的主電源開關(guān)（溫度控制、攪拌控制電源）、輔電源開關(guān)（制冷、循環(huán)水）、循環(huán)水控制開關(guān)、加水開關(guān)（開制冷、循環(huán)水前,先用硅膠管連接加水塑料接頭，另一頭插進(jìn)準(zhǔn)備好的清潔桶裝水中；然后開加水開關(guān)，水會自動加入；儀器后面左側(cè)有水位計；顯示水位高度；水位以水位計中間高度為宜）
　　6、打開主電源開關(guān)（面板zui左側(cè)）。
　　7、點擊“智能一體化蒸餾儀”
　　8、點擊“二氧化硫殘留量檢測儀　
　　9、選擇上面的主界面之右下角的“配方設(shè)置”，會顯示下面的配方設(shè)置界面（請注意觀察：配方編號“”----會隨著“前一模式”—“后一模式”的點擊發(fā)生變化，依次改變?yōu)?ldquo;氨氮”、“揮發(fā)酚”等；根據(jù)需要從而選定、設(shè)定需要的試驗參數(shù)）根據(jù)實驗要求設(shè)置好每一路的溫度、時間。（因為二氧化硫沒有重量要求，統(tǒng)一設(shè)置為300或500即可（技術(shù)人員釋疑此問）
　　10、點擊打開“加熱參數(shù)”，設(shè)定加熱參數(shù)　
　　11、配方設(shè)置好，請按上圖標(biāo)識，點擊“保存參數(shù)”，再點擊“使用參數(shù)”；然后點擊“返回”，則再次出現(xiàn)主界面圖示
　　12、點擊“智能一體化蒸餾儀”字標(biāo)圖示，則出現(xiàn)“智能一體化蒸餾儀”工作界面，然后點擊“開始”（點擊“前一模式”---“后一模式”選定配方編號，為”“氨氮”“揮發(fā)酚”等）
　　13、點擊“二氧化硫殘留量檢測儀”字標(biāo)圖示，則出現(xiàn)“二氧化硫殘留量檢測儀”工作界面，然后點擊“開始”（點擊“前一模式”---“后一模式”選定配方編號，為“二氧化硫”
　　14、如上圖，在工作界面下，此時主開關(guān)、輔開關(guān)、循環(huán)水開關(guān)均在接通狀態(tài)。且顯示界面為已經(jīng)設(shè)置好的“配方”：。此時點擊：“制冷”則制冷壓縮機(jī)工作；點擊“循環(huán)水”則冷凝管內(nèi)會有冷凝水循環(huán)流動（轉(zhuǎn)輪可視）；點擊“攪拌”則液體內(nèi)加入的攪拌子會轉(zhuǎn)動攪拌，并可根據(jù)要求調(diào)速（面板轉(zhuǎn)速控制旋鈕）；分別點擊“加熱”則各路分別加熱并可根據(jù)要求調(diào)溫（面板溫度控制旋鈕）
　　15、實驗完畢后，依次關(guān)閉面板上的主電源開關(guān)、右側(cè)的主電源開關(guān)、輔電源開關(guān)、循環(huán)水開關(guān)即可。zui后拔掉電源插頭　
　　16、如果再做實驗，直接啟動儀器，如不改變配方設(shè)置，則按照原來的配方執(zhí)行（今后就會顯示出其一體化、功能全面、操作方便的極大優(yōu)點）。